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用于歐姆接觸形成的高速紫外激光退火 microPRO XS OCF 系統提供了一個多功能平臺,可實現高重復性和高吞吐量的激光退火。該系統將穩定的激光光學模塊與3D-Micromac的模塊化處理平臺相結合,非常適合用于碳化硅(SiC)功率器件的歐姆接觸形成(OCF)。
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